رقة المقاومة في الطبقة المعدنية

[eecs4ever]

لخطوط حديد في طبقات معدنية ، لماذا هو روبية (ورقة المقاومة ، أوم / مربع)
انخفاض عند التباعد بين خطوط معدنية هي أكبر؟على سبيل المثال ، العرض = 0.2 أم الفضاء أم روبية = 2 = 0.137 أوم / مربع
العرض = 0.2 أم الفضاء 0.2um روبية = = 0.037 أوم / مربعشكرا.

 

[Guest]

[No message]

 

[shankarmit]

ورقة المقاومة يعتمد على المعادن...
أعتقد أن هناك أية علاقة بين تباعد معدنية...
أين ش الحصول على هذه المعلومات.
ش يمكن إرساله لي...

إذا ش الحصول على بريد جواب لي
shankar.mit (في) gmail.com

شكراتمنيات
شانكار

 

[leeenghan]

مرحبا ،

عندما المعادن هي closly متباعدة ، والمعادن وهناك نقص في حفر ، وبالتالي أقل روبية.عندما المعادن هي المباعدة بين متباعدين ، والمعادن هي الافراط في حفر ، وبالتالي هناك "أقل المعادن" في حجم وحدة ، وبالتالي روبية هو أعلى من ذلك.

على سبيل المثال ، في وقت مبكر "تأثير" ، والمعادن ليست مستطيلة الشكل ، ولكن قد منحدر على جانبي الجدار.أعتقد 0.13um وأدناه روبية وقد أثر هذا النموذج.

تمنيات ،
المهندس هان
www.eda - utilities.com

 

[spauls]

وأعتقد أن للتغلب على القضايا إسقاط الأشعة تحت الحمراء.

 

[Dalicko]

وأنا أتفق مع شانكار ، ليس هناك من الاعتماد على ورقة المقاومة مع تباعد معدنية ، normaly.لديك لمزيد من التحديد الخاص بك الهندسة.المواد الخاصة بك (الركازة ، والمعادن) يمكن أن تلعب دورا في تجاربك probabely.

ر.
Dalicko

 

[cdic]

ل90nm أو أدناه ، فإن المقاومة ورقة سيكون مختلفا لو تباعد المعادن وعرض مختلفة ، وانه بسبب اختلاف عملية مثل leeenghan أوضح ، ولكن ل0.13 وما فوق ، وهناك نفس.

 

[nav_vlsi]

أنا لا تجد أي علاقة بين المقاومة ورقة والمباعدة بين المعادن.ورقة المقاومة هي خاصية من ذلك المعدن خاصة.فهي ثابتة من الناس مسبك.حيث والمباعدة بين المعدن هو ثابت من قبل فريق التصميم المادي لأسيك

 

[Guest]

وأعتقد أن السبب هو أن العرض لا تعتمد دائما على السيليكون العرض.عند tapeout التصميم الخاص بك ، سوف تولد مسبك قناع الطباعة الحجرية على أساس التصميم الخاص بك أولا.لكن قناع normmaly يختلف تخطيطك بمسانده techonlogy خاصة عندما يستخدم لتحقيق أفضل محصول في 013u أو أدناه.سلك العرض هو واحد من تعديل النتيجة.Normmaly في عملية يثو ، 50 ٪ نمط الكثافة سوف تحصل على أفضل نتيجة الطباعة.لذلك عندما عرض / الفضائية 0.2u/2u في تخطيط ، قد يكون قناعا على أحجام 0.3u/1.8u (يتوقف على مسبك).ثم تشاهد روبية مختلفة.وأضاف بعد 12 دقيقة :leeenghan كتب :

مرحبا ،عندما المعادن هي closly متباعدة ، والمعادن وهناك نقص في حفر ، وبالتالي أقل روبية.
عندما المعادن هي المباعدة بين متباعدين ، والمعادن هي الافراط في حفر ، وبالتالي هناك "أقل المعادن" في حجم وحدة ، وبالتالي روبية هو أعلى من ذلك.على سبيل المثال ، في وقت مبكر "تأثير" ، والمعادن ليست مستطيلة الشكل ، ولكن قد منحدر على جانبي الجدار.
أعتقد 0.13um وأدناه روبية وقد أثر هذا النموذج.تمنيات ،

المهندس هان

www.eda - utilities.com