الهوائي تأثير

[ryusgnal]

المرفقة هي بعض الملاحظات حول تأثير الهوائي في تخطيط جيم التصميم.ويلاحظ أن يشرح لمنع تأثير هوائي نحن بحاجة إلى الاستمرارية في تقديم معدنية 1.وهو ما يعني أن لدينا للاتصال معدنية 1 إلى معدن 2 والاتصال مرة أخرى إلى معدن 1.كيف يمكنني الاتصال عن المعادن 1 و 2 مع المعدن لم الاتصال مرة أخرى مع المعدن 1؟هو تأثير الهوائي لا يزال يحدث؟
آسف ، ولكن تحتاج إلى تسجيل الدخول لمشاهدة هذه الضميمة

 

[mdcui]

حكم الهوائي فقط يهتم M1 التوصيل مع البوابة ، ما دامت تستطيع الحفاظ على حجم صغير بما فيه الكفاية M1 ، لقضيتك ، حيث M1 متصلا M2 ولم M1 الاتصال مرة أخرى ، ينبغي أن يكون على ما يرام.
ولكن في الواقع ، في المكمل تصميم البوابة دائما متصلا نشرها أو وسادة ، لا نعرف متى حالة وصفت لكم لن يحدث.

 

[CK815]

نعم ، سيكون التأثير الهوائي لا يزال يحدث إذا كنت لا نعود الى met1 أو ما يصل إلى met3 لهذه المسألة.البلازما خلال الحفر في أي الطبقة المعدنية ، وسوف يتم جمعها من قبل ايونات المعادن نفسها (الرقاقة هو احتمال عقد في الأرض)
، ويضر في نهاية المطاف رقيقة أكسيد البوابة.كمية الشحنة (أو عدد من الأيونات) التي جمعت يعتمد على مساحة إجمالية قدرها معدنية متصلة البوابة.دعونا نفترض أن النسبة الاعلى من المعدن إلى منطقة بوابة المسموح به هو 3000 / 1 لفئة معينة من عملية تقنية.لذلك سوف لا تزال تنتهك سيادة فقط إذا كنت ربط ثلاث ساحات للmet1 ، ثم ترتفع إلى met2 وربط 5000 المربعات إلى بوابة واحدة بولي مربع.هو خدعة لاما مكان الطائر "" على المعدن أعلى (منطقة الحد الأدنى من المعدن يكفي!) ومن ثم العودة لأسفل إلى المعدن أو أدنى لتوصيل ميلامين إلى مسار المعادن (عادة ما تكون نقطة اتصال واحدة لع -- نشر كافية) لتحويل التهمة الزائدة.

على أمل أن يساعد!

C.

 

[Guest]

[No message]

 

[ryusgnal]

هو تأثير الهوائي يحدث فقط في أكسيد البوابة؟ماذا عن هجرة والمصدر؟يمكننا الاتصال هجرة أو مصدر للمساحة واسعة من المعادن 1؟

 

[qingliliu]

لا معدنية كبيرة دائما ليست جيدة للهوائي.

 

[wonbef]

تحسين أنه على الرغم من التصميم التخطيطي.

 

[CK815]

حتى الآن ، وأنا لم قلب أي تهمة بفعل الأضرار التي لحقت الإنتشار من خلال تجهيز رقاقة.الامكانيات التي يمكن أن تحدث ليست عالية بما يكفي لإحداث أضرار لا رجعة فيها لينتشر.أنا قد تقف تصحيح لتكنولوجيات <90nm ، ولكن بخلاف ذلك ، وأكاسيد البوابة هي نقطة ضعف.
إذا كان لديك مخاوف ، يجب عليك دائما الاتصال التجهيز!ويجب أن تكون قادرة على تقديم أي معلومات لديك الخيار ينطبق على العملية.

تمنيات ،

C.

 

[ryusgnal]

CK815 كتب :

أنا قد تقف تصحيح لتكنولوجيات <90nm.

 

[CK815]

لا يمكن تجاهل أثر هوائي للبوابات!بياني يشير الى الإنتشار.حتى عموما ، وأنا لا أرى أي خطر من أجل الإنتشار من الترانزستورات في الحد الأدنى من هذه العقد التكنولوجيا.ما لديك هو أساسا بنية الصمام الثنائي ، باعتبارها ركيزة للرقاقة تعقد في المحتملة (عادة ما تكون الأرض) أثناء الحفر.بوابة أكسيد تتأثر لأنها رقيقة جدا
، وبالتالي لا يمكن أن تصمد أمام التهم التي قد تتراكم خلال الحفر.

على أمل أن يساعد!

C.

 

[analayout]

مرحبا
إذا ش ربط المعادن من 1 إلى m2 ثم m2 لبولي.إذا m2 قصيرة ثم فإنه سيتم تجنب الأثر هوائي
فكرة استخدام jumber المعدن خلال تلفيق معدنية طويلة أنها لن تكون مرتبطة بولي إيسينج أعلى من المعدن بين بين.المعدن toplevel سوف تلفيق في وقت لاحق فقط وأنها ينبغي أن تكون بالقرب من بولي أيضا
وأعتقد الآن واضحة لك ص
تمنيات
analayout

 

[xstal]

مرحبا أيها الأصدقاء ،

لقد كان دائما شك غريبة جدا عن التأثير الهوائي.

ما كنت قد فهمت هو "الهوائي قواعد تحد من مجال المعادن التي يمكن توصيلها بأمان إلى بوابة".

الآن لو كنت تقسيم معدنية 1 لأن المنطقة كانت أكثر ، وفيا لاتخاذ المعدن 2 ، ومرة أخرى نعيد الاتصال 1 معدنية عن طريق استخدام آخر ، أننا بهذه الطريقة التي تقسم المساحة الإجمالية المعادن الى ثلاثة اجزاء ويقول A1 ، A2 ، a3.شكوكي هو عندما connectin نهائي في هذا الصدد ، فإن مجموع رسوم المتراكمة بشكل فردي عن طريق A1 ، A2
، وسوف تضيف ما يصل a3 وتسبب ضررا على أكسيد البوابة.لذلك كيف يمكننا تجنب أكسيد كسر؟؟

شكرا

 

[analayout]

مرحبا
تأثير الهوائي يحدث أثناء عملية الحفر
نرى ما اذا كان ش أدلى a1 a2 a3
خلال حفر مي أكبر a1 المجال هو عدم الحصول على اتصال مع bcz بولي a2 المنطقة ليست بعد خلق
durig a2 النمش هو الاتصال مع بولي مع مسافة قصيرة فقط هذا هو السبب في وسعنا
تجنب منطقة واسعة
أعتقد خلال m2 ething اي تهمة سيخلق على m1 بدلا من التي ص الحصول على اتصال مع m2
حاء هذه الحالة لا يوجد لديه a1 اجااااازه المفعول خلال بوابة الاتصال a2 النقش على النحو التالي
a2 a3 بولي لذلك لن يسبب هوائي efect
نأمل أن اور شمال غرب واضحة
تمنيات
analaout

 

[CK815]

الصحيح ، لن يؤدي إلا إلى تهمة تتراكم على الطبقة المعدنية ليكون محفورا لأن هذا هو معدن يجري في اتصال مباشر مع البلازما.أتفهم قلقكم إزاء المنطقة معدنية صغيرة jumering على سبيل المثال.metal1.ولكن ما هو مهم هو مجال المعادن المعرضة مباشرة لبلازما!حتى إذا كنت تستخدم الصغيرة met2 الطائر لتجنب التأثير على هوائي met1 ، وكنت على الجانب الآمن.

تمنيات ،

C.

 

[ryusgnal]

CK815 كتب :

حتى إذا كنت تستخدم الصغيرة met2 الطائر لتجنب التأثير على هوائي met1 ، وكنت على الجانب الآمن.

 

[analayout]

إذا m2 المنطقة هو أكثر من ذلك سيكون سببا في الحد من تأثير هوائي
ش الوقت الذي ينبغي استخدام الصغيرة m3 jumber
تمنيات
analayout

 

[karthik2]

مرحبا أيها الأصدقاء ،
أحتاج نظرية الهوائي وتصميم كتاب البروفسور وارن L. A. Stutzman وغاري ثييل

الرجاء ارسال لي الارتباط ، من أين يمكنني تحميل هذا الكتاب.

أو حتى لو كان هذا الكتاب المتوفرة الرجاء إرسال الرابط
مغير تصميم هوائي (ارتك مكتبة البيت ميكروويف
كيه سي غوبتا (محرر) ، عبد العزيز بينالا (محرر)
ردمك - 10 : 0890061807

انني مسرور جدا في هذا الحقل الجديد من تصميم الهوائي ، يرجى توحي لي كيف يمكنني أن أصبح مصمم ممتازة الهوائي.تمنيات
كارثيك

 

[CK815]

وأرى أنه لا يزال هناك بعض الالتباس حول تأثير هوائي.دعونا نحاول على سبيل المثال :
التصميم الخاص بك قواعد تنص على أن الحد الأقصى لنسبة معينة من الطبقة المعدنية لبولي هو بوابة - 3000 / 1.بافتراض أن لدينا بوابة أدنى متصلا metal1 طويلة جدا التتبع الذي يتجاوز هذه النسبة ، لا يمكننا حل هذه المشكلة عن طريق jumpering metal1 على metal2 باستخدام تبعد سوى مسافة قصيرة عن تتبع met2.إذا كان لنا أن "الطائر" في metal1 تتبع مع آخر metal2 طويلة تتبع أيضا أن يتجاوز لدينا نسبة ماكس 3000 / 1 (met/poly- البوابة) ونحن مرة اخرى تنتهك سيادة.كمية الشحنة التي تراكمت خلال خطوة أحفر يعتمد فقط على مجال المعادن معرضة بصورة مباشرة إلى البلازما.لا يهم إذا كان لدينا 1000 من المربعات من المعدن متصلا لنا العبور على الطبقات السفلى معدنية!

وآمل أن يعطيك صورة أفضل.

تمنيات ،

C.